Pfeiffer Vacuum zeigt auf der Messe Semicon Korea innovative Vakuumlösungen
ID: 1012746
• Neue Trockenläufer A4 Serie
• Neuer Trockenläufer A 200 L
• Neue magnetgelagerte Turbopumpen ATH-M Serie
Neue Trockenläufer A4 Serie
Die ölfreien mehrstufigen Wälzkolbenpumpen der A4 Serie bieten ein Saugvermögen von 100 bis 1.700 m³/h. Diese energieeffizienten und zuverlässigen Pumpen sind ideal für den Einsatz in anspruchsvollen Prozessen der Halbleiter- und Beschichtungsindustrie. Dank korrosionsresistenter Materialien und eines hohen Gasdurchsatzes ist die Pumpenserie beispielsweise optimal für die Anwendung in CVD-Prozessen geeignet.
Neuer Trockenläufer A 200 L
Die neue ölfreie mehrstufige Wälzkolbenpumpe A 200 L bietet trotz ihrer geringen Abmessungen ein hohes Saugvermögen und sehr kurze Abpumpzeiten. Dieser Trockenläufer ist für den Betrieb im Reinraum geeignet und ideal für saubere Anwendungen wie Schleusen- und Transferkammern sowie für alle anderen nicht korrosiven Anwendungen. Des Weiteren zeichnet sich die A 200 L durch einfache Integration in Halbleiterproduktionsanlagen und besonders energiesparendes Arbeiten aus.
Neue magnetgelagerte Turbopumpen ATH 2804 M und ATH 3204 M
Bei den magnetgelagerten Turbopumpen der ATH-M Serie überwacht ein aktives 5-Achsen-Magnetlager die Position des Rotors. Durch diese hochwertige Lagertechnologie wird eine Langzeitstabilität und Zuverlässigkeit gepaart mit einer hohen Laufruhe erzielt. Durch die Prozessausrüstung dieser Hochvakuumpumpen und das sehr gute Saugvermögen sind sie ideal für den Einsatz in der Halbleiterproduktion, insbesondere bei Ätzprozessen, sowie für viele weitere industrielle Anwendungen.
Pfeiffer Vacuum stellt ebenfalls auf der Semicon China in Shanghai vom 18. bis 20. März 2014 aus.
Adresse der Messe Semicon Korea:
Convention & Exhibition Center (COEX)
159 Samsung-dong, Gangnam-gu,
Seoul 135731, Korea
Stand 5730 in Halle DWeitere Infos zu dieser Pressemeldung:
Themen in dieser Pressemitteilung:
Unternehmensinformation / Kurzprofil:
Über Pfeiffer Vacuum
Pfeiffer Vacuum (Börsenkürzel PFV, ISIN DE0006916604) ist ein weltweit führender Anbieter von Vakuumlösungen. Neben einem kompletten Programm an hybrid- und magnetgelagerten Turbopumpen umfasst das Produktportfolio Vorvakuumpumpen, Mess- und Analysegeräte, Bauteile sowie Vakuumkammern und -systeme. Seit Erfindung der Turbopumpe durch Pfeiffer Vacuum steht das Unternehmen für innovative Lösungen und Hightech-Produkte in den Märkten Analytik, Industrie, Forschung & Entwicklung, Beschichtung sowie Halbleiter. Gegründet 1890, ist Pfeiffer Vacuum heute weltweit aktiv. Das Unternehmen beschäftigt etwa 2.200 Mitarbeiter und hat über 20 Tochtergesellschaften.
Mehr Informationen unter www.pfeiffer-vacuum.de
Pfeiffer Vacuum GmbH
Public Relations
Sabine Neubrand-Trylat
T +49 6441 802 1223
F +49 6441 802 1500
Sabine.Neubrand(at)pfeiffer-vacuum.de
www.pfeiffer-vacuum.de
Datum: 30.01.2014 - 15:40 Uhr
Sprache: Deutsch
News-ID 1012746
Anzahl Zeichen: 2582
Kontakt-Informationen:
Ansprechpartner: Sabine Neubrand-Trylat
Stadt:
Asslar
Telefon: 06441 802 1223
Kategorie:
Forschung
Meldungsart: Messeinformation
Versandart: Veröffentlichung
Freigabedatum: 30.01.2014
Diese Pressemitteilung wurde bisher 1733 mal aufgerufen.
Die Pressemitteilung mit dem Titel:
"Pfeiffer Vacuum zeigt auf der Messe Semicon Korea innovative Vakuumlösungen"
steht unter der journalistisch-redaktionellen Verantwortung von
Pfeiffer Vacuum GmbH (Nachricht senden)
Beachten Sie bitte die weiteren Informationen zum Haftungsauschluß (gemäß TMG - TeleMedianGesetz) und dem Datenschutz (gemäß der DSGVO).
