Spezialist für minimale Höhenunterschiede

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ID: 188628

FRT präsentiert ein neues Weißlicht-Interferometer



(firmenpresse) - Bergisch Gladbach - Für hochgenaue Topographie- und Ebenheitsmessungen stellt Fries Research & Technology (FRT) ein neues Weißlicht-Interferometer vor, das in die bewährten Multisensor Oberflächenmessgeräte von FRT integriert werden kann.

Der Sensor WLI PL ist in der Lage, Höhenunterschiede von Oberflächenstrukturen mit einer Auflösung von 10 nm berührungslos und dreidimensional zu vermessen. Der besondere Clou: Der Sensor ist mit einer patentierten One-Shot-Technologie ausgestattet, welche die Oberflächen hochauflösend und großflächig binnen Sekunden erfasst. Speziell in der Halbleiter- und Mikrosystemtechnik wird der Sensor in der Forschung & Entwicklung und in der Produktionskontrolle eingesetzt. Er eignet sich aber auch für eine Vielzahl weiterer Anwendungen, etwa in den Bereichen Photovoltaik, Automotive, Medizintechnik und Optikindustrie.

Vielseitig und schnell
Ein wesentlicher Vorteil des optischen Sensors ist seine Vielseitigkeit. Durch die berührungslose und zerstörungsfreie Messung können die verschiedensten Materialien und Oberflächen analysiert werden. Silizium, Glas, Metalle, Kunststoffe oder Keramiken lassen sich mit dem WLI PL untersuchen, unabhängig davon, ob sie reflektierend, rau, strukturiert oder poliert sind. Der Sensor liefert großflächig und in einem Messdurchgang Daten über 3D-Topographie, Ebenheit, Profil, Rauheit und Kontur.

Typische Anwendungsbeispiele finden sich in der Halbleiterfertigung. So können Through Silicon Vias (TSV) für 3DIC Baugruppen sehr schnell und großflächig untersucht werden. Auch für die schnelle Analyse von großen Bump-Feldern und für Ebenheitsmessungen eignet sich der neue Sensor hervorragend. Das Messfeld mit einer Größe von bis zu 35 mm x 35 mm wird über ein auswechselbares Objektiv optimal an die Messaufgabe angepasst.

Einsatz im Multisensor-Gerät
Das neue Weißlicht-Interferometer kommt in den Multisensor-Messgeräten MicroProf und den vollautomatischen Messsystemen MicroProf MFE in Kombination mit weiteren optischen Sensoren, Rasterkraft- oder Konfokalmikroskopen zum Einsatz.



FRT auf der CONTROL 2010
Sie finden FRT auf der CONTROL in Stuttgart (4. bis 7. Mai) in Halle 7, Stand 7238.

Besuchen Sie FRT im Internet unter: http://www.frt-gmbh.com


Pressekontakt:
Jens Bonerz
FRT, Fries Research & Technology GmbH
Friedrich-Ebert-Straße
51429 Bergisch Gladbach
Tel.: 02204 842430
E-Mail: bonerz@frt-gmbh.com
www.frt-gmbh.com

Dr. Oliver Schillings
Alpha & Omega PR
Am Mühlenberg 47
51465 Bergisch Gladbach
Tel.: 02202 959002
o.schillings@aopr.de
www.aopr.de

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Unternehmensinformation / Kurzprofil:

Fries Research & Technology GmbH - the art of metrology
Fries Research & Technology GmbH (FRT) bietet 3D-Oberflächenmesstechnik bis zur Mikro- und Nanometerauflösung für Forschung und Produktion. Die mehrfach ausgezeichneten Messsysteme von FRT liefern berührungslos und zerstörungsfrei sowie wahlweise vollautomatisch Informationen über die Topographie, Struktur, Stufenhöhe, Rauheit, Verschleiß, Schichtdicke und viele andere Parameter. Mehr als 300 Anlagen sind weltweit bei Unternehmen aus den Branchen wie z.B. Automotive, Halbleiter, Mikrosystemtechnik, Optik, Solar/Photovoltaik im Einsatz.
Das Unternehmen hat seinen Sitz in Bergisch Gladbach bei Köln und unterhält Tochtergesellschaften in den USA, China und der Schweiz sowie ein Vertriebs- und Servicenetz in den USA, Asien und Europa.



PresseKontakt / Agentur:

Alpha & Omega PR
Oliver Schillings
Am Mühlenberg 47
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02202 / 959 002
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Datum: 13.04.2010 - 12:59 Uhr
Sprache: Deutsch
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Ansprechpartner: Jens Bonerz
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Bergisch Gladbach


Telefon: 02204 842430

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