Polarisation und Ellipsometrie: Türöffner für perfekte Schichtqualitäten
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Die Forschungsgruppe Prozesstechnik am Institut für Fertigungstechnik und Photonische Technologien der TU Wien hat ein echtzeitfähiges System zur Inline-Überwachung der Qualität von Schichten entwickelt und setzt dabei auf Polarisationskameras von SVS-Vis
Mit einem relativ neuen bildgebenden Verfahren im Bereich der Polarisation beschäftigt sich hingegen die Forschungsgruppe Prozesstechnik am Institut für Fertigungstechnik und Photonische Technologien der TU Wien. Ferdinand Bammer ist dort federführend für das Projekt zuständig und erläutert die Grundlagen wie folgt: „Im Gegensatz zur Transmissions-Technologie nutzen wir Ellipsometrie, d.h. wir untersuchen Polarisationszustände des Lichts, das von Prüfobjekten reflektiert wird und erfassen die Intensitäten des reflektierten Lichts unter den linearen Polarisationswinkeln 0°, 45°, 90° und 135°. Mit den Verhältnissen dieser Intensitäten und einem geeigneten mathematischen Modell kann man die Qualität von Schichten und ihre Dicken bestimmen.“
Um eine vollständige Erfassung des Polarisationszustands zu ermöglichen, greifen die Forscher dabei in die optische Trickkiste: Da die Umlaufrichtung der gemessenen Polarisationsellipse bei diesem Verfahren zunächst nicht feststellbar ist, nutzen sie eine zusätzliche Viertelwellenplatte, die eine Messung der Intensitäten der 45°- und 135°-linear- und links/rechts-zirkular-Polarisierung erlaubt. „Aus diesen Intensitäten werden das 45°-Verhältnis R45 und das zirkular-Verhältnis Rz gebildet“, so Bammer. „Damit kann dann in der Regel eine vollständige Erfassung des Polarisationszustandes erfolgen. Die so ermittelten Kennzahlen R45 und Rz beziehungsweise die daraus direkt zu berechnenden klassischen Ellipsometriewinkel ? und ? hängen von den Probeneigenschaften ab. Den größten Einfluss auf diese Parameter hat dabei die Dicke einer etwaigen Beschichtung der Probe. Durch den Einsatz der Ellipsometrie ist es daher möglich, Aussagen über die Qualität von Schichtdicken zu treffen. Unser Ziel besteht darin, dieses im Labor funktionierende Verfahren so leistungsfähig und sicher zu machen, dass es auch in Inline-Anwendungen in der Industrie zum Einsatz kommen kann.“
Der Bedarf für solche Inline-Ellipsometriesysteme ist vorhanden und wächst stetig, erläutert Bammer: „In der Elektronikfertigung ist es bei zahllosen Prozessen erforderlich, die Qualität dünner Schichten aus Halbleitern, Metallen, Polymeren oder dielektrischen Schichten möglichst exakt zu ermitteln. Dies gilt unter anderem auch für die Herstellung von OLED-Displays, Brennstoffzellen-Membranen, Batterie-Elektroden, Photovoltaik-Komponenten sowie in der Pharma-, Lebensmittel- und Getränkeindustrie. Durch ellipsometrische Messungen kann dort beispielsweise sichergestellt werden, dass die Dicke der Innenbeschichtung in Kunststoff- und Glasbehältern alle Anforderungen erfüllt, um die enthaltenen Produkte zu schützen und gleichzeitig zu garantieren, dass diese nicht ausdiffundieren.“
Polarisationskameras als Basis
Wie genau solche Schichtdicken gemessen und beurteilt werden müssen, hängt stark von der Anwendung ab. Bei Barriereschichten in Flaschen und auf Folien, bei Gleitschichten in pharmazeutischen Gebinden oder bei Primern auf Blechen, die in Form von Haftschichten oder als Vorbehandlung für eine bessere Anhaftung von Lacken genutzt werden, kann nach Bammers Worten eine Genauigkeit von rund 10 Prozent der Schichtdicke ausreichen. Typischerweise liegt die Schichtdicke in solchen Fällen im Bereich von 10 bis 200 nm. Bei komplexeren Anwendungen wie unter anderem in der organischen Photovoltaik (OPV) oder in der Displaytechnik sind jedoch gegebenenfalls auch höhere Genauigkeiten erforderlich.
„Um diese Vorgaben einzuhalten, haben wir am Markt nach geeigneten Polarisationskameras gesucht und aufgrund einer Empfehlung eines Forschungspartners auch gefunden“, so Bammer. „Laut dieser Empfehlung liefert SVS-Vistek die robustesten und vor allem rauschärmsten Kameras, daher haben wir diesen Hersteller gewählt und gute Erfahrungen mit Produktqualität und Service gemacht. Aktuell setzen wir das GigE Vision-Polarisationskameramodell exo250ZGE mit einer Auflösung von 5 Megapixeln und Datenraten bis 24,5 Bildern/s ein, das in einfachen Anwendungen unsere Anforderungen erfüllt.“ Für höhere Messgeschwindigkeiten installiert Bammer die USB3-Polarisationskamera exo250ZU3, die höhere Aufnahmeraten von bis zu 75 Bildern/s ermöglicht. Für Anwendungen, die eine höhere Auflösung erfordern, kommt die USB3-Polarisationskamera exo253ZU3 mit einer Auflösung von 12,3 Megapixeln zum Einsatz.
Neben den technischen Eigenschaften der Polarisationskameras von SVS-Vistek haben Bammer auch andere Faktoren überzeugt: „Schon in den ersten Gesprächen mit den Experten unseres Partners hat sich deren Kompetenz bezüglich der Kamera-Technologie und das Verständnis für unsere Vorstellungen deutlich gezeigt. Die Zusammenarbeit mit SVS-Vistek war schnell, freundlich und effizient – das hat uns bei der Realisierung unserer Ellipsometriesysteme sehr geholfen.“
Technologie-Akzeptanz erzielen
Als größte Herausforderung des Ellipsometrie-Projekts nennt Bammer das Verständnis des Zusammenhangs zwischen Polarisation und der zu messenden Größe. „Diesen Zusammenhang zu verstehen und in eine einfache und robuste Messmethode umzusetzen, ist an sich schon nicht trivial. Ebenso schwierig ist es jedoch, Entscheidern in der Industrie die technischen Hintergründe zu vermitteln und deren Akzeptanz zu erreichen. Nur so ist es möglich, die im Labor bereits bewiesene Leistungsfähigkeit der Methode in den praktischen Einsatz zu überführen. Polarisationskameras von SVS-Vistek stellen dafür jedenfalls eine hervorragende Grundlage dar, auf die wir auch bei der Weiterentwicklung unserer Systeme bauen werden.“
Einige Systeme auf Basis dieser Technologie werden derzeit in die Praxis überführt. So wollen erste Anwender die Ellipsometrie aus Wien inzwischen in diversen Labor-Systemen, aber auch in industriellen Anwendungen wie unter anderem für Messungen der Schichtdicke und -qualität bei PET-Flaschen nutzen. Zwar können die sehr hohen Genauigkeiten der Labor-Ellipsometrie generell nicht in die Produktionslinie übertragen werden, doch für bestimmte Anwendungen ist die Güte der Messergebnisse auch heute schon ausreichend.
Durch die absehbaren Fortschritte der Technologie wird ihr Potential in Zukunft weiter zunehmen, davon ist Bammer überzeugt: „Bei der Produktion von Komponenten, die für den Einsatz in vielen Zukunftstechnologien benötigt werden, wie unter anderem Displays, Beleuchtungen, Photovoltaik-Komponenten, Akkus und Batterien, Brennstoffzellen oder Katalysatoren, besteht ein stetig steigender Bedarf an zuverlässigen, vollflächigen Qualitätskontrollen von Beschichtungen. Aufgrund dessen bin ich mir sicher, dass die Bedeutung der Polarisationstechnologie in den kommenden Jahren stark zunehmen wird. Aktuell ist in der Industrie noch ein zu geringes Verständnis und Wissen im Bereich Polarisationsmessung und Ellipsometrie vorhanden. Leistungsfähige Polarisationskameras wie die von SVS-Vistek könnten hier jedoch viele Türen öffnen.“
Basiswissen Polarisation
Polarisation bezeichnet die Ausrichtung von elektromagnetischen Schwingungen. Die elektromagnetischen Wellen des Lichts schwingen in verschiedenen Richtungen. Bei unpolarisiertem Licht sind diese Schwingungen zufällig verteilt. Durch geeignete Polarisationsfilter kann das Licht so gefiltert werden, dass nur Schwingungen in einer oder mehreren bestimmten Richtungen durchgelassen werden. Dieses polarisierte Licht, bzw. die Polarisationsänderung nach einer Reflexion, erlaubt dann die Messung bestimmter Eigenschaften, z.B. die Dicke von Beschichtungen.
Über SVS-Vistek:
Als innovativer Hersteller hochwertiger Industriekameras verfügt SVS-Vistek seit mehr als 35 Jahren über außergewöhnliches Know-How in der industriellen Bildverarbeitung. Das Unternehmen entwickelt und produziert eine breite Auswahl an Standardkameras sowie Kameras mit höchsten Auflösungen und Geschwindigkeiten, überdurchschnittlicher Bildqualität und allen relevanten Schnittstellen. Mit leistungsstarken Komponenten wie Objektiven, Beleuchtungen, Filtern, Framegrabbern und Kabeln unterstützt SVS-Vistek seine Kunden bei der Realisierung wirtschaftlicher, individueller Lösungen für verschiedenste Branchen.
Über die Forschungsgruppe Prozesstechnik am Institut für Fertigungstechnik und Photonische Technologien der TU Wien:
Die Forschungsgruppe Prozesstechnik am Institut für Fertigungstechnik und Photonische Technologien der TU Wien arbeitet gemeinsam mit Partnern aus der Industrie und Wissenschaft an verschiedenen Aufgabenstellungen im Bereich der Makro-, Mikro- und Nanobearbeitung, sowie an messtechnischen Fragestellungen. Diese untersucht sie mit Laser- und Lichtquellen, die Strahlung vom ultravioletten Bereich bis hin zum fernen infraroten Bereich des Spektrums emittieren. Die Aktivitäten der Forschungsgruppe reichen von der Grundlagenforschung bis zur angewandten Forschung.
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Datum: 28.05.2025 - 09:57 Uhr
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