Coherent in Göttingen erhält Innovation Award Laser Technology

(PresseBox) - Der Innovation Award Laser Technology ist ein europäischer Forschungspreis der alle zwei Jahre durch den Arbeitskreis Lasertechnik e.V. und das European Laser Institute (ELI) an Projektgruppen vergeben wird, deren Arbeit zu einer Innovation auf dem Gebiet der Lasertechnologie beigetragen hat. Der Schwerpunkt der Einreichung muss in der Laserbearbeitung bzw. der Laserlicht-Erzeugung liegen und muss zu nachweisbarer kommerzieller Anwendung geführt haben.
Die Coherent-Projektgruppe bestehend aus Rainer Paetzel, Dr. Ralph Delmdahl, Dr. Kai Schmidt, Andreas Targsdorf, Dr. Igor Bragin, Frank Simon und Ludolf Herbst wurde mit dem zweiten Platz beim Innovation Award Laser Technology 2012 gewürdigt. Die feierliche Preisübergabe erfolgte am 9. Mai 2012 im Rahmen des International Laser Technology Congress (AKL) im Rathaus zu Aachen.
Das Coherent-Team wurde für den Beitrag "Excimerlaser für Aktiv-Matrizen-LCD und Aktiv-Matrizen-OLED Flachbildschirme" ausgezeichnet.
Das Hochleistungs-308nm-VYPER/LB750-System von Coherent (Foto unten) ermöglicht einen hohen Durchsatz beim Excimer Laser Annealing (ELA) auf Gen-6 Substraten, die dabei sind, die bisherigen Gen-4 Substrate in der Flachbildschirm-Fertigung abzulösen.
Beim ELA-Verfahren, überführt ein 308nm-Excimerlaser amorphes Silizium (a-Si) in Niedertemperatur-Polysilizium (LTPS), welches eine 100-fach höhere Ladungsträgerbeweglichkeit besitzt. Das Linienstrahlsystem LB750 hat eine Homogenität von 1.8 % und erzeugt ein Linienprofil der Dimension 750 mm X 0.4 mm zur Erzeugung einer Gen-6-Display-Backplane mit einem äußerst homogenen 50 nm dünnen Polysilizium-Film. Die außerordentlich hohe UV-Ausgangsleistung von 1.200 W ließ sich durch eine räumliche und zeitliche Überlagerung zweier UV-Oszillator-Strahlen mit jeweils 1 Joule Pulsenergie bei 600 Hz Pulswiederholrate erreichen.
Das zwei-Oszillatoren-Konzept VYPER wurde auf das neuartige Strahlführungskonzept LB750 angepasst, welches die Strahlformung, -mischung, -homogenisierung und -abbildung beider Oszillatorstrahlen beinhaltet.



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Datum: 12.06.2012 - 13:52 Uhr
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