Carl Zeiss stellt ORION NanoFab vor
ID: 722864
Carl Zeiss stellt ORION NanoFab vor
Nanofabrikation unterhalb von zehn Nanometern
JENA/Germany, MANCHESTER/UK, 17.09.2012.
Der Unternehmensbereich Mikroskopie von Carl Zeiss stellt ORION NanoFab auf dem European Microscopy Congress (EMC) in Manchester, UK, vor. Es ist das erste Multi-Ionen- strahl-System, das auf der Gasfeld-Ionenquelle (GFIS) basiert. ORION NanoFab nutzt erstmalig neben Heliumionen auch Neonionen als Strahl- quelle. Forscher in Industrie und Wissenschaft können mit dem System Nanostrukturen mit Abmessungen unterhalb von zehn Nanometern erstellen und erhalten Bilder mit Auflösung im Angström-Bereich. Kunden können auf Wunsch zusätzlich eine Galliumionen-Säule integrieren.
Dr. David Joy, Wissenschaftler am Center for Nanophase Materials Science (CNMS) am Oak Ridge National Laboratory, USA, wird der erste Kunde sein, der ORION NanoFab erhält: "Das System bietet eine räumliche Auflösung im Subnanometerbereich, kombiniert mit hoher Schärfentiefe. Es eignet sich für die Untersuchung zahlreicher Materialien wie Graphen, Co-Polymere und Halbleiterbauelemente", erläutert Joy seine Erwartungen.
Bei der Entwicklung und Herstellung von Nanosystemen durch Ionenfräsen arbeitet der Neonionenstrahl präzise und trägt das Material schnell ab. Auch bei der Ionenstrahl-Lithographie ermöglichen die Neonionen eine schnellere Fotolack-Belichtung. Der Heliumionenstrahl erlaubt Nanofabrikation bis weit unterhalb von zehn Nanometern sowie hochauflösende Bildgebung in einem. Mit der optionalen Gallium-FIB-Säule können größere Materialmengen schnell abgetragen werden. Damit ist ORION NanoFab die vielseitigste Plattform für Nanofabrikation und Imaging auf dem Markt.
"Endlich habe ich das System gefunden, das ich die letzten zehn Jahre gesucht habe", sagt Dr. Qianjin Wang von der Physics School der Nanjing University in China. "Seit über zehn Jahren untersuchen wir optische Eigenschaften in künstlichen Nanostrukturen. Ich freue mich, an vorderster Front der Revolution in der Nanowelt dabei zu sein."
"Wir freuen uns sehr auf ORION NanoFab", so Michael Phaneuf, Präsident der Fibics Incorporated in Ottawa, Kanada. "Die Entwicklung des kombinierten Helium-Neon-Gallium-Systems eröffnet uns beeindruckende Möglichkeiten für Nanofabrikation. Die Anwendungen, die hochauf- lösende Bildgebung mit Helium und Neon beinhalten, sind erst am Entstehen. Wir freuen uns darauf, Anwendungen mit dieser Plattform zu entwickeln und sind gespannt, welche Bereiche wir noch erschließen werden."
Kontakt:
Markus Wiederspahn
Carl Zeiss Microscopy GmbH
Tel.: +49 73 64 20-2294
E-Mail: markus.wiederspahn@zeiss.com
Datum: 17.09.2012 - 15:15 Uhr
Sprache: Deutsch
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