Team-Nanotec GmbH

Die 1998 aus IBM heraus gegründete Team Nanotec GmbH entwickelt und produziert Komponenten für die Mikrosystemtechnik, Nanotechnologie und Siliziumbearbeitung. Das Hauptprodukt sind Abtastsensoren für Rasterkraft- oder „Atomare Kraft“-Mikroskope, sogenannte AFM Probe Tips. Damit kann z.B. die Chipindustrie zerstörungsfreie Reliefmessungen und Qualitäts¬prüfungen an Wafer-Oberflächen vornehmen. Als weltweit einziger Produzent beherrscht Team Nanotec die Serienfertigung von Abtastsensoren mit Senkköpfen, mit denen hochintegrierte Siliziumstrukturen mit Unterschnitt im Nanometerbereich dreidimensional vermessen werden können. Team Nanotec unterstützt die Halbleiterindustrie bei der Weiterentwicklung der Membranmaskentechnologie, die zur Belichtung und Bearbeitung von Wafern eingesetzt wird. Als Entwicklungsdienstleister fertigt Team Nanotec mit kurzen Durchlaufzeiten überwiegend Prototypen und Kleinserien. Weitere Produktfelder sind Komponenten für Festplattenlaufwerke, Elektronenoptik, Mikrosystemtechnik, Mikrofluidik und Mikrooptik. Zu den besonderen Kompetenzen des Unternehmen zählen die Silizium-Oberflächenbearbeitung, insbesondere das hochpräzise Tiefätzen (Deep Reactive Ion Etching). Weitere Kernkompetenzen liegen in der Dünnfilmtechnologie, insbesondere unter Verwendung von Kohlenstoff und Wolframcarbid. Zu den Kunden zählen Hersteller von Rasterkraft-Mikroskopen, Messgeräten und Prozessanlagen, die in der Halbleiterindustrie zum Einsatz kommen. Zweite wichtige Kundengruppe sind die Chiphersteller selbst. Team Nanotec beschäftigt elf Fachkräfte – Physiker, Ingenieure und hochspezialisierte Techniker. Geschäftsführer ist der frühere IBM-Fellow Dr. Johann Greschner. Das Unternehmen hat seinen Sitz am Institut für Mikro- und Informationstechnik der Hahn-Schickard-Gesellschaft (HSG-IMIT) in Villingen-Schwenningen, wo ein 600 Quadratmeter großes Reinraumlabor zur Verfügung steht.