vistec Electron Beam GmbH
Die Produkt- und Dienstleistungspallette des Fraunhofer-Instituts für Elektronische Nanosysteme ENAS reicht von hochgenauen Sensoren für die Industrie, Sensor- und Aktuatorsystemen mit Ansteuer- und Auswerteelektronik, über gedruckte Funktionalitäten wie Antennen oder Batterien bis hin zur Material- und Zuverlässigkeitsforschung für die Mikroelektronik und Mikrosystemtechnik. Im Fokus stehen die Entwicklung, das Design und der Test von MEMS/NEMS, Methoden und Technologien zur deren Verkappung und Integration mit Elektronik sowie Mikro- und Nanoelektronik und die 3D-Integration. Die Anwendungen reichen von der Halbleitertechnik über Medizintechnik, Maschinenbau, Automobilindustrie, Logistik bis hin zu Luft- und Raumfahrt.
Vistec Electron Beam GmbH ist ein weltweit führender Hersteller von leistungsfähigen Elektronenstrahl-Belichtungsanlagen (Variabler Formstrahl / Variable Shaped Beam) und verfügt über eine mehr als 40 jährige Erfahrung auf diesem Gebiet. Die Firma entwickelt, produziert und verkauft Elektronenstrahl-Belichtungsanlagen, die überwiegend in der Halbleiterindustrie und anderen Applikationsfeldern, die hochauflösende Strukturierungen erfordern, zum Einsatz kommen. Die Anwendungen reichen von Mikro- und Nanoelektronik über Integrierte Optik und MEMS bis hin zu Nano- und Biotechnologien. Neben dem Hauptstandort Jena betreibt die Firma Service und Support Zentren in Asien und Europa.
