Qualitätskontrolle und Fertigungsoptimierung in der Elektronikfertigung
Weißlicht-Interferometer prüft feinste Strukturen
(PresseBox) - Fortschritte in der Mikrosystemtechnik und der Mikroelektronik steigern die Nachfrage nach Messungen von Strukturdetails, um zum Beispiel Kanaltiefen und Kantenprofile auf einem Lab-on-aChip zu charakterisieren, Stufenhöhen, Co-Planarität und andere Packaging-Parameter zu bestimmen oder MEMS anhand ihrer 3D-Strukturprofile und abgeleiteter Oberflächenparameter zu charakterisieren, wie z.B. Rauheit, Ebenheit und Deformation. Mit dem TopMap Micro.View+ hat Polytec für solche Anwendungen (Bild) ein hochauflösendes mikroskopbasiertes WeißlichtInterferometer im Programm. Die zusätzlich zur Höhenmessung gelieferte Farbinformation (RGB) vom Messobjekt vereinfacht dabei die Fehlerzuordnung. Ausgestattet mit motorisierten x-, y- und zAchsen, einem Verfahrbereich von 200 x 200 x 100 mm³ und einen ebenfalls motorisierten ObjektivRevolver lassen sich Prüfabläufe automatisiert nach bestimmtem „Rezepten“ durchführen, die Probenhöhe kann bis auf 370 mm gemessen werden und der Messkopf ist auch separat direkt in der Fertigungslinie integrierbar.
Anwendungsbeispiel: Flexible Hybridelektronik
Beim Institut für Mikroelektronik Stuttgart (IMS CHIPS) hat sich das hochauflösende Prüfsystem bei der Überprüfung der Oberfläche flexibler Hybridelektronik mittlerweile im praktischen Einsatz bewährt. Im waferbasierten Produktionsprozess werden hier Chips auf eine Polyimidfolie gebettet, überschichtet und mit lithographischer Strukturierung verdrahtet. Zur Qualitätskontrolle müssen die feinen Strukturen des vierlagigen Aufbaus überprüft werden (Bild 2). Gleichzeitig tragen die Ergebnisse dazu bei, den Fertigungsprozess zu evaluieren und zu optimieren. Die 3D-Messdaten der Weißlicht-Interferometer können mit jeder geeigneten Auswertesoftware bearbeitet werden. Besonders einfach geht das mit der speziell für diese Topografie-Messsysteme entwickelten TMS Software, die zahlreiche Möglichkeiten bietet, um die Messergebnisse zügig und ISO-konform auszuwerten. Zudem lässt sich die Software dank guter Dokumentation, offener Struktur und modularen Aufbaus individuell modifizieren. Dadurch bleibt internes Wissen im Unternehmen und auf sich ändernde Anforderungen kann flexibel reagiert werden.
Polytec wurde 1967 gegründet und bot als Pionier in Deutschland erstmalig kommerzielle Lasertechnologie für Industrie und Forschung an. Aufbauend auf dem Erfolg im Distributionsgeschäft begann Polytec in den 70er Jahren mit der Entwicklung und der Fertigung eigener, innovativer, laser-basierter Messgeräte.
Gestern wie auch heute wird der weltweite Standard für laser-basierte Schwingungs-, Geschwindigkeits- und Längenmesssysteme von Polytec Produkten definiert. Die Entwicklung von High-Tech-Produkten ist bei Polytec eine strategische Kernaktivität und hat neben den Lösungen aus dem Bereich optische Messsysteme zu einer Palette von weiteren Eigenprodukten in den Anwendungsgebieten Oberflächenmesstechnik, Analytische Messtechnik, Noise Analysis und Prozessautomation geführt.
Unsere weltweiten Aktivitäten
Polytec ist ein weltweit tätiges Unternehmen mit Niederlassungen in Europa, Nord-Amerika und Asien. In der internationalen Fachwelt genießt Polytec eine hervorragende Reputation für innovative Produkte, herausragende Qualität und erstklassigen Service.
Die innovativen Lösungen von Polytec erlauben unseren Kunden, eigene technologische Führungsstärke in den unterschiedlichsten Bereichen zu behaupten. In Märkten von Automobilbau, Luft- und Raumfahrttechnik und Maschinenbau über Data Storage, Microsystemtechnik und Nanotechnologie bis hin zu Biologie und Medizin wird das Vertrauen der Kunden in Polytec und seine Produkte immer wieder bestätigt. Weiterhin stellt die Distribution exzellenter High-Tech-Produkte anderer innovativer Hersteller eine Kernkompetenz von Polytec dar.
Bei Polytec sind wir der höchstmöglichen Zufriedenheit unserer Kunden verpflichtet und bieten deshalb neben exzellenten Produkten über unsere Niederlassungen in Europa, Nord-Amerika und Asien direkt vor Ort auch Service, Support und Anwendungsunterstützung. Polytec ist seit 1994 ISO-zertifiziert, zuletzt nach DIN EN ISO 9001:2015.
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Unternehmensinformation / Kurzprofil:
Polytec wurde 1967 gegründet und bot als Pionier in Deutschland erstmalig kommerzielle Lasertechnologie für Industrie und Forschung an. Aufbauend auf dem Erfolg im Distributionsgeschäft begann Polytec in den 70er Jahren mit der Entwicklung und der Fertigung eigener, innovativer, laser-basierter Messgeräte.
Gestern wie auch heute wird der weltweite Standard für laser-basierte Schwingungs-, Geschwindigkeits- und Längenmesssysteme von Polytec Produkten definiert. Die Entwicklung von High-Tech-Produkten ist bei Polytec eine strategische Kernaktivität und hat neben den Lösungen aus dem Bereich optische Messsysteme zu einer Palette von weiteren Eigenprodukten in den Anwendungsgebieten Oberflächenmesstechnik, Analytische Messtechnik, Noise Analysis und Prozessautomation geführt.
Unsere weltweiten Aktivitäten
Polytec ist ein weltweit tätiges Unternehmen mit Niederlassungen in Europa, Nord-Amerika und Asien. In der internationalen Fachwelt genießt Polytec eine hervorragende Reputation für innovative Produkte, herausragende Qualität und erstklassigen Service.
Die innovativen Lösungen von Polytec erlauben unseren Kunden, eigene technologische Führungsstärke in den unterschiedlichsten Bereichen zu behaupten. In Märkten von Automobilbau, Luft- und Raumfahrttechnik und Maschinenbau über Data Storage, Microsystemtechnik und Nanotechnologie bis hin zu Biologie und Medizin wird das Vertrauen der Kunden in Polytec und seine Produkte immer wieder bestätigt. Weiterhin stellt die Distribution exzellenter High-Tech-Produkte anderer innovativer Hersteller eine Kernkompetenz von Polytec dar.
Bei Polytec sind wir der höchstmöglichen Zufriedenheit unserer Kunden verpflichtet und bieten deshalb neben exzellenten Produkten über unsere Niederlassungen in Europa, Nord-Amerika und Asien direkt vor Ort auch Service, Support und Anwendungsunterstützung. Polytec ist seit 1994 ISO-zertifiziert, zuletzt nach DIN EN ISO 9001:2015.
Datum: 05.04.2022 - 15:16 Uhr
Sprache: Deutsch
News-ID 1971362
Anzahl Zeichen: 4376
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Stadt:
Waldbronn
Kategorie:
Optische Technologien
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